太陽能選擇性吸收涂層
本發(fā)明涉及一種太陽能選擇性吸收涂層及其制備方法，該涂層由基底層Cu鏡面反射膜、中間層A1NxOv干涉吸收膜和表面層A1N。x Ov C z減反膜三層結構組成，具有可見一近紅處光譜高吸收率、紅外光譜極低發(fā)射率和真空烘烤熱穩(wěn)定性，適用于中溫(100—300)工作溫度真空使用環(huán)境的全玻璃真空管和熱管式真空管等應用領域，使該類太陽能真空集熱管具有更低熱損，更高熱效率的優(yōu)異特性，該涂層的制備采用三靶直流磁控濺射，鍍膜反應氣體由氮、氧、甲烷、乙炔等調控，濺射工況穩(wěn)定，重復性好，適于全玻璃真空管和熱管式真空管等生產(chǎn)性制備。
